掃描顯微鏡是一種利用傳播媒介的無損檢測設備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查元器件、材料、晶圓等樣品內部的分層、空洞、裂縫等缺陷。

一、超聲波掃描顯微鏡介紹

通過發(fā)射短波傳遞到樣品內部，在經過兩種不同材質之間界面時，由于不同材質的阻抗不同，吸收和反射程度的不同，進而采集的反射能量信息或者相位信息的變化來檢查樣品內部出現的分層、裂縫或者空洞等缺陷。先進的顯微成像的技術是諸多行業(yè)領域在各類樣品中檢查和尋找瑕疵的重要手段。在檢查材料又要保持完整的樣品時，這項非破壞性檢測技術的優(yōu)勢尤為突出。

利用脈沖回波的性質，激勵壓電換能器發(fā)射出多束通過耦合液介質傳遞到被測樣品，在經過不同介質時會發(fā)生折射、反射等現象，通過阻抗不同的材料時會發(fā)生波形相位、能量上的變化等現象，經過一系列數據采集計算形成灰度值圖片，可用來分析樣品內部狀況。

作為無損檢測分析中的一種，它可以實現在不破壞物料電氣能和保持結構完整性的前提下對物料進行檢測。被廣泛的應用在物料檢測（IQC）、失效分析（FA）、破壞性物理分析（DPA）、可靠性分析、元器件二次篩選、質量控制(QC)、質量保證及可靠性(QA/REL)、研發(fā)(R&D)等領域。

三、產品特點

非破壞性、對樣品無損壞。分辨率高，可確定缺陷在樣品內部的精確位置。

四、工作方式

按接收信息模式可分為反射模式與透射模式。按掃描方式分可分為 C掃，B掃，X掃，Z掃，分焦距掃描，分波長掃描等多種方式。